超高真空（UHV）/極高真空（XHV）用イオンポンプおよびコントロールユニット
アジレント（旧 Varian）では、さまざまな排気速度（0.4～1000 L/s）の VacIon イオンポンプを幅広く取り揃えています。クリーンで振動のない環境を実現する、チタンサブリメーションポンプ（Ion CombiTSP）および非蒸発型ゲッター（Ion CombiNEG）ポンプのスマートコンビネーションポンプも提供しています。
アジレントのイオンポンプとコントローラは、お客様の真空要件に合わせて多様な構成にカスタマイズできます。ラボ、大規模研究機関、医療機器、走査電子顕微鏡、表面分析ツールなど、安定した超高真空（UHV）または極高真空（XHV）条件が不可欠なアプリケーションに最適です。
VacIon Plus 150 ポンプ
UHV/XHV 用の 150 L/s イオンポンプは、構成を StarCell、ダイオード、ノーブルダイオードからお選びいただけます。
VacIon Plus 200 ポンプ
UHV/XHV 用の 200 L/s イオンポンプは、構成を StarCell、ダイオード、ノーブルダイオードからお選びいただけます。
VacIon Plus 300 ポンプ
UHV/XHV 用の 300 L/s イオンポンプは、構成を StarCell、ダイオード、ノーブルダイオードからお選びいただけます。
VacIon Plus 500 ポンプ
UHV/XHV 用の 500 L/s イオンポンプは、構成を StarCell、ダイオード、ノーブルダイオードからお選びいただけます。
VacIon Plus 800 ポンプ
UHV/XHV 用の 800 L/s イオンポンプは、StarCell 構成で提供されます。
VacIon Plus 1000 ポンプ
UHV/XHV 用の 1000 L/s イオンポンプは、構成を StarCell、ダイオード、ノーブルダイオードからお選びいただけます。
VacIon Plus 150 コンビネーションポンプ
排気速度 150 L/s のイオン-TSP-クライオパネルコンビネーションポンプは、構成を StarCell、ダイオード、ノーブルダイオードからお選びいただけます。
VacIon Plus 300 コンビネーションポンプ
排気速度 300 L/s のイオン-TSP-クライオパネルコンビネーションポンプは、構成を StarCell、ダイオード、ノーブルダイオードからお選びいただけます。
VacIon Plus 500 コンビネーションポンプ
排気速度 500 L/s のイオン-TSP-クライオパネルコンビネーションポンプは、構成を StarCell、ダイオード、ノーブルダイオードからお選びいただけます。
TSP カートリッジ
フィラメント型とミニチタン・ボールソース型をご用意しています。
TSP 環境シールドとクライオパネル
TSP カートリッジと組み合わせて使用します。
