イオンポンプとコントローラ

TSP 環境シールドとクライオパネル

TSP 環境シールドとクライオパネルは、TSP カートリッジと組み合わせて使用します。どちらの製品も、弾き飛ばされたチタンを付着させるための大きな表面積を備えています。クライオパネル（クライオシュラウド）は、水冷または液体窒素冷却するか、UHV/XHV で使用する場合は非冷却で使用するように設計されています。冷却が現実的でないか望ましくない場合は、非冷却式クライオパネルより環境シールドの方が高い排気速度が得られます。

環境シールドまたはクライオパネルを TSP カートリッジと組み合わせることで、活性ガスの排気速度が高まり、UHV/XHV にすばやく到達できます。環境シールドは、反応性ガスに対して優れた排気速度を発揮します。また、昇華したチタンをクライオシュラウドで低温にすれば、超高真空で残留ガスとして最大のガス負荷となる水素をより効率的に排気できます。

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