Ion CombiNEG 40-400 ポンプ

イオンポンプとコントローラ

Ion CombiNEG 40-400 ポンプ

Agilent Ion CombiNEG 40-400 は、40 L/s VacIon ポンプに大容量の D400-2 非蒸発型カートリッジを内蔵したポンプです。NEG カートリッジが活性ガスの排気速度を高める一方（水素の最大排気速度 400 L/s）、StarCell イオンポンプはアルゴンをはじめとする残留希ガスに対して優れた排気速度を発揮します。磁場の最適化と真空焼成プロセスにより高真空でのガス放出が最小限に抑えられるため、性能がさらに向上します。また内部シールドにより、NEG の動作寿命が長くなります。

これは大量の希ガスを処理できる唯一のポンプであり、メタン、アルゴン、ヘリウムの高速排気と大容量という特長も備えています。つまり、超高真空や極高真空で排気速度の向上を必要とする、要求の厳しいアプリケーションに適しています。

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特長

  • 希ガスに対して優れた排気速度を提供する StarCell イオンポンプエレメントと、反応性ガスの排気速度を高める NEG カートリッジを組み合わせることで、UHV/XHV へのポンプダウンを高速化
  • 非常にコンパクトな焼結型 NEG カートリッジが、圧粉成形された低品質の NEG カートリッジに代わる優れたソリューションとなり、システムへの粉体の放出リスクを排除
  • ConFlat 4.5² 非回転式フランジと、NEG カートリッジ用の ConFlat 2.75² フランジを搭載
  • 異なる方向のフィードスルーを選択できる最大限の柔軟性
  • 可動部品がなく、動作時に振動が発生しないため、高感度アプリケーションに最適
  • 低漏れ電流により安定した真空圧値を提供
  • 低磁場のためシステムへの干渉が最小限
  • 400 ℃未満での真空処理と真空下でのピンチオフにより、設置前に清浄性と真空の完全性を確保

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仕様

  • エレメントタイプ
    • StarCell
    • ダイオード
    • SEM
    フィードスルースタイル
    • Fischer
    ヒーター出力
    • 250 W
    ヒーター電圧
    • 100～120/200～240 V
    吸気口フランジ
    • 4 ½ インチ CFF（NW 63）
    最高ベーキング温度
    • 350 °C
    最大始動圧力
    • ≤ 5 x 10-2 mbar
    動作寿命
    • 80,000 時間
    到達圧力
    • < 1 x 10-11 mbar
    重量（ポンプのみ）
    • 17 kg
    • 37 ポンド

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