VacIon 10 L/s ポンプ

イオンポンプとコントローラ

VacIon 10 L/s ポンプ

Agilent VacIon 10 L/s ポンプは、希ガスに最適化されたダイオード構成とノーブルダイオード構成からお選びいただけます。水素などの残留ガスを効率よく排出します。排気速度が高いことと希ガスによるガス負荷に対処できることが重視され、しかも設置スペースが限られているためコンパクトであることが不可欠なアプリケーションで広く使用されています。

一般に学術およびラボ研究環境に導入されており、幅広い UHV/XHV アプリケーションで粒子の放出や振動のないソリューションとしてご利用いただけます。

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特長

  • 密閉型デバイスで超高真空を維持するために広く使用されている 10 L/s ポンプ
  • 優れた UHV 性能を備え、希ガスや水素などの残留ガスに最適化
  • ConFlat 2.75 インチ回転式フランジを搭載
  • 低漏れ電流により安定した真空圧値を提供
  • ニーズに合わせてさまざまな高電圧フィードスルー、本体形状、ポンプセル構成でカスタマイズ可能
  • 低磁場のためシステムへの干渉が最小限
  • 400 ℃未満での真空処理と真空下でのピンチオフにより、設置前に清浄性と真空の完全性を確保
  • お客様固有の要件に応じた特殊な試験手順を追加可能
  • ポンプ用マグネットアセンブリパッケージを別途販売

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仕様

  • エレメントタイプ
    • ダイオード
    フィードスルースタイル
    • Varian ダイオード
    吸気口フランジ
    • 2 ¾ インチ CFF（NW 35）
    最高ベーキング温度
    • 350 °C
    最大始動圧力
    • ≤ 1 x 10-4 mbar
    動作寿命
    • 40,000 時間
    到達圧力
    • < 1 x 10-11 mbar
    重量（ポンプのみ）
    • 4 kg
    • 9 ポンド

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