ミニチュアイオンポンプ

イオンポンプとコントローラ

ミニチュアイオンポンプ

アジレントのミニチュア VacIon ポンプは一般に付属イオンポンプと呼ばれます。ダイオード構成またはノーブルダイオード構成で提供され、排気速度は 0.4 L/s です。軽量で、放出される磁場がきわめて低いという特長を持ち、最高ベーキング温度は 400 ℃です。

アジレント（Varian）が 1950 年代後半にイオンポンプを発明して以来、アジレントのミニチュアポンプは、防衛、宇宙、遠隔通信、研究、医療機器など幅広いアプリケーションで産業分野をリードしてきました。電子管をその動作寿命にわたって高真空圧または超高真空圧に保つために広く使用されています。

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特長

  • 密閉型デバイスで超高真空を維持するために広く使用されている排気速度 0.4 L/s の付属ポンプ
  • 低漏れ電流により安定した真空圧値を提供
  • ニーズに合わせてさまざまな高電圧フィードスルー、本体形状、ポンプセル構成でカスタマイズ可能
  • 低磁場のためシステムへの干渉が最小限
  • 400 ℃未満での真空処理と真空下でのピンチオフにより、設置前に清浄性と真空の完全性を確保
  • お客様固有の要件に応じた特殊な試験手順を追加可能
  • ポンプ用マグネットアセンブリパッケージを別途販売

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仕様

  • エレメントタイプ
    • ダイオード
    フィードスルースタイル
    • ミニチュア
    吸気口フランジ
    • 3/8 インチ
    最高ベーキング温度
    • 150 °C
    最大始動圧力
    • ≤1 x 10-4 mbar
    到達圧力
    • < 1 x 10-11 mbar
    重量（ポンプのみ）
    • 0.3 kg
    • 0.66 ポンド

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サポート情報/商品

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