イオンポンプとコントローラ

Ion CombiNEG 150-1000/2000 ポンプ

Agilent Ion CombiNEG 150-1000 および 150-2000 は、150 L/s VacIon ポンプに大容量の D1000 または D2000 非蒸発型ゲッターカートリッジを内蔵したポンプです。StarCell またはダイオードイオンポンプがアルゴンをはじめとする残留希ガスに対して、また NEG カートリッジがゲッタリング可能なガスに対して優れた排気速度を発揮します。これより、大量の希ガス、水素、およびゲッタリング可能なその他のガスを同時に処理できるという独自のメリットがもたらされます。また、内部の保護シールドが NEG の動作寿命を最大化します。

汎用性に優れたコンパクトな Ion CombiNEG 150-100/2000 ポンプは、超高真空/極高真空で高い排気速度が求められる要求の厳しいアプリケーションに最適です。

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特長

希ガスに対して優れた排気速度を提供する StarCell またはダイオードイオンポンプエレメントと、反応性ガスの排気速度を高める NEG カートリッジを組み合わせることで、UHV/XHV へのポンプダウンを高速化
非常にコンパクトな焼結型 NEG カートリッジが、圧粉成形された低品質の NEG カートリッジに代わる優れたソリューションとなり、システムへの粉体の放出リスクを排除
ConFlat 6² 非回転式吸気口フランジと、追加の NEG カートリッジ用 ConFlat 6² サイドポートを搭載
異なる方向のフィードスルーを選択できる最大限の柔軟性
可動部品がなく、動作時に振動が発生しないため、高感度アプリケーションに最適
低漏れ電流により安定した真空圧値を提供
低磁場のためシステムへの干渉が最小限
400 ℃未満での真空処理と真空下でのピンチオフにより、設置前に清浄性と真空の完全性を確保

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仕様

エレメントタイプ	StarCell
フィードスルースタイル	Fischer
ヒーター出力	480 W
ヒーター電圧	100～120/200～240 V
吸気口フランジ	6 インチ CFF（NW100）
最高ベーキング温度	350 °C
最大始動圧力	≤ 5 x 10^-2 mbar
動作寿命	80,000 時間
到達圧力	< 1 x 10^-11 mbar
重量（ポンプのみ）	43 kg 94 ポンド