NEG カートリッジ

イオンポンプとコントローラ

NEG カートリッジ

SAES GETTERS D400-2、D1000、および D2000 非蒸発型ゲッターカートリッジは、圧粉成形された低品質の NEG カートリッジより性能に優れた焼結 St 172(Zr-V-Fe)製です。非常にコンパクトな構成で高い排気速度を達成できます。各ゲッターカートリッジにはヒーターが組み込まれており、フランジ電源フィードスルーに直接接続されています。加熱可能コネクタにより、始動およびモニタリング用の電源に簡単かつ迅速に接続できます。

SAES GETTERS NEG カートリッジを StarCell VacIon ポンプ内に直接取り付ければ、あらゆるガスに対して最高レベルの排気速度が得られます。

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特長

  • SAES 焼結カートリッジが反応性ガスに対して高い排気速度を発揮し、UHV/XHV へのポンプダウンを高速化
  • チャンバへの直接取り付けにより最大限の排気速度を実現、イオンポンプのサイドポートに追加することも可能
  • 弾き飛ばされたチタンから保護する光学シールドバッフルによりカートリッジの寿命が向上
  • 内蔵ヒーターによりカートリッジを容易に活性化

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