イオンポンプとコントローラ
イオンポンプ用マグネット
アジレントのイオンポンプ用マグネットは、イオンポンプの正常動作に必要な強度の均一で高密度の磁場を形成します。イオンポンプの排気効率は電子雲の密度に左右され、この密度はセルの形状と電場および磁場の強度に直接関連しています。一般的なスパッタイオンポンプの設計では、1,200～1,400 ガウスの磁場が使用されます。
イオンポンプ性能の最適化に向けたサポートをご希望の場合は、イオンポンプの発明企業であるアジレント（旧 Varian）にお問い合わせください。
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