イオンポンプとコントローラ
チタンサブリメーションポンプ（TSP）カートリッジを使用すれば、UHV/XHV システムからゲッタリング可能なあらゆるガスを効率的に排気できます。TSP はイオンポンプの内部に追加することも、別のポンプユニットとして使用することもできます。液冷式クライオパネルと組み合わせれば、より低い温度を達成し、中間ガスの排気速度をさらに高めることができます。
UHV システムではフィラメントタイプの TSP カートリッジが最も一般的です。サブリメーションの合間にオフにすることで熱によるガス放出を抑えられるからです。一方、ボールタイプのカートリッジには大量のチタンが含まれています。そのため、動作圧力が高いときなどチタンの使用量が多い条件下で運用する場合の寿命が長くなります。
