イオンポンプとコントローラ
SAES GETTERS NEG フランジは標準 CF タイプのフランジです。Ion CombiNEG ポンプの組み立てを仕上げるコンポーネントとして、NEG カートリッジをイオンポンプ内に正しく組み込む役割を果たします。NEG は特殊なコネクタによりコントロールユニットに接続できます。コネクタは 400 ℃まで加熱可能です。
各 NEG フランジは、対応する NEG カートリッジに合わせて特別に設計されており、どのフランジにも 1.5 x 10–10 scm3/s までのリーク試験が実施されています。このような設計により、シンプルでコンパクトなポンプアセンブリが実現し、省スペースおよび高信頼性という利点が同時にもたらされます。
