イオンポンプとコントローラ

VacIon Plus 300 コンビネーションポンプ

CombiTSP 300 は、VacIon 300 L/s ポンプに TSP カートリッジと TSP クライオパネルを組み込むことで、同じ占有スペースで排気速度を高めたポンプです。TSP カートリッジのゲッタリング特性により、超高真空/極高真空（UHV/XHV）に高速ポンプダウンし、低い最終到達圧力を実現します。クライオパネルがゲッタリング可能なガスの排気効率を高める一方、StarCell エレメントはメタン、アルゴン、ヘリウムに対して優れた排気速度と排気容量を達成します。

素粒子物理研究をはじめ、表面科学、ナノテクノロジー、材料科学など高真空を使用する研究に最適です。ニーズに合わせてさまざまな高電圧フィードスルー、本体形状、ポンプエレメントでカスタマイズすることも可能です。

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特長

VacIon Plus 300 にサイドマウントまたはボトムマウント 8² ConFlat ポートを追加搭載したイオン-TSP コンビネーションポンプ
エレメントを StarCell、ダイオード、ノーブルダイオードから選択することで、希ガスに対して最善の（UHV/XHV）排気速度を実現可能
ConFlat 8² 非回転式吸気口フランジと追加の 8² ConFlat ポートをダブルエンドまたはサイドポート構成で搭載
クライオパネルは外径 8² ConFlat フランジに取り付けられ、TSP カートリッジ取り付け用の 2.75² ConFlat フランジが含まれる
TSP カートリッジ付き、ただしポンプへの取り付けが必要
クライオパネルは、TSP から昇華したチタンを凝縮・吸着する大きな表面積を備え、真空システムを不要なコーティングから保護
クライオパネルにより、液体窒素による冷却時のゲッタリングプロセスの効率が高まり、水分の排気速度が向上水冷、または UHV/XHV での使用時には非冷却での動作も可能
120 VAC または 230 VAC ヒーターと選択可能なフィードスルー（Fischer、King、DESY、Varian、SHV 10kV（Safeconn））を搭載
ケーブルおよびコントローラは別途提供

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仕様

エレメントタイプ	StarCell ノーブルダイオードダイオード
フィードスルースタイル	Fischer SHV
ヒーター出力	580 W
ヒーター電圧	100～120/200～240 V
吸気口フランジ	8 インチ CFF（NW 150）
最高ベーキング温度	350 °C
最大始動圧力	≤ 5 x 10^-2 mbar
動作寿命	80,000 時間
到達圧力	< 1 x 10^-11 mbar