VacIon 2 L/s ポンプ

イオンポンプとコントローラ

VacIon 2 L/s ポンプ

Agilent VacIon 2 L/s ポンプは、効率的で振動のない UHV 排気を提供します。マイクロ波管および高周波管の性能をデバイスの動作寿命にわたって維持します。ダイオードエレメント搭載の小型 2 L/s イオンポンプは、コンパクトな高感度システムに組み込んで、または低磁場を必要とする装置と組み合わせて、幅広いアプリケーションで使用されています。カスタマイズ可能なため、システムに簡単に組み込むことができます。

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特長

  • 密閉型デバイスで超高真空を維持するために広く使用されている排気速度 2 L/s の付属ポンプ
  • 高真空での始動を改善する改良型のダイオード構成
  • 低漏れ電流により安定した真空圧値を提供
  • ニーズに合わせてさまざまな高電圧フィードスルー、本体形状、ポンプセル構成でカスタマイズ可能
  • 低磁場のためシステムへの干渉が最小限
  • 400 ℃未満での真空処理と真空下でのピンチオフにより、設置前に清浄性と真空の完全性を確保
  • お客様固有の要件に応じた特殊な試験手順を追加可能
  • ポンプ用マグネットアセンブリパッケージを別途販売

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仕様

  • エレメントタイプ
    • ダイオード
    フィードスルースタイル
    • Fischer
    吸気口フランジ
    • 1 1/3 インチ CFF（NW 35）
    最高ベーキング温度
    • 150 °C
    最大始動圧力
    • ≤ 1 x 10-4 mbar
    動作寿命
    • 8,000 時間
    到達圧力
    • < 1 x 10-11 mbar
    重量（ポンプのみ）
    • 0.3 kg
    • 0.66 ポンド

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