Select Silanes (シラン分析用カラム)
Select Silanesカラムは、安定なトリフルオロプロピルメチルポリシロキサンを液相とした、シラン測定に最適なカラムです。 このカラムは非常に厚膜で、高揮発性のシランに対して高保持力を有しています。 さらにSelect Silanesカラムは低ブリードであり、ppmレベルでの組成分析と不純物分析が可能であり、 最良のピーク形状が得られるように表面活性を極力低減しています。 特にアルキル化クロロシランの%レベルでの分析や不純物分析に使用されています。
クロロシランの分析例
カラム:Select Silanes、0.53mm×60m、3μm
キャリアガス:ヘリウム、50 kPa(0.5 bar)
カラム温度:60℃
インジェクション:ダイレクトインジェクション
検出器:FID
ピーク:
1. ジクロロメタン
2. 2,4-ジメチルペンタン
3. 2,2,3-トリメチルブタン
4. トリクロロメチルシラン
5. ジメチルクロロシラン
6. メチルビニルジクロロシラン