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ルーツポンプ(RP)とルーツポンプシステム(RPS)
プロセスガス流に混入する可能性がある粒状物質や液体を取り除くために適切な吸気口フィルタを選択することで、アジレントの高容量ロータリポンプで最適な排気速度を維持しつつ、ポンプ機構の早期消耗を防止できます。
アジレントは、排気速度低下の原因となったりポンプ寿命を短縮したりするほとんどの種類の汚染物質を取り除くための、広範な吸気口フィルタおよびトラップをご用意しています。
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