ルーツポンプ（RP）とルーツポンプシステム（RPS）
RP/RPS 用可変周波数駆動装置
RP および RPS ポンプシステム用のアジレントの可変周波数駆動装置では、個別の圧力モニタリングとルーツポンプのスイッチオンが不要です。圧力が低下する際に、適切な回転速度でルーツポンプを動作させ、フォアラインポンプへのガス流を最適化することにより、フォアラインポンプ/ルーツポンプの排気速度曲線の「屈曲部」を解消します。ポンプダウン時間が短縮され、回転素子に対する負荷が低下します。
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