ターボポンプシステム(TPS)
TPS-コンパクトはポータブルな、炭化水素フリーのターボポンピングステーションです。 TwisTorr 74 FS または 305 FS ターボ分子ポンプを使用でき、Agilent 3 m³/h(60 L/min)ドライスクロールポンプ技術を採用しています。コンパクトなパッケージで、市場で最速のポンプダウンが可能です。 大型の圧力ディスプレイで幅広いアクティブゲージの読み取りが可能です。
TPS-コンパクトポンプシステムは世界中どこの電圧でも動作可能で、CE/CSA-UL 認証を受けています。
大学のラボ、産業アプリケーション、医療アプリケーションにおいて、100 L までの中型チャンバに最適です。簡単に使用できるオン/オフスイッチにより、スイッチを切り替えるだけで高真空を得られます。