ターボポンプシステム(TPS)
TPS-ミニポータブル真空ソリューションは、TwisTorr 74 FS ターボポンプとドライ 10 L/min ダイアフラムポンプが組み合わされた、競争力のあるパッケージです。カテゴリ内で最軽量かつ占有スペースが最小で、ベンチトップにも、注入口フランジで直接システムにも、あらゆる場所に取り付けることが可能です。オンボードディスプレイは、さまざまなアクティブゲージからのシステム圧力を表示できます。
TPS-ミニはすぐに使用可能なドライポンプシステムで、小容量チャンバおよびゲージキャリブレーションシステムのための最適な真空ソリューションです。簡単に使用できるオン/オフスイッチにより、スイッチを切り替えるだけで高真空を得られます。