ディフュージョンポンプ

NHS-35 ディフュージョンポンプ

Agilent NHS-35 オイル式ディフュージョンポンプは、ハイスループットで 28,000 L/s の高速排気速度を備えたポンプです。完全に最適化された蒸気ジェット、堅牢なボイラー設計、サーマル保護スイッチにより、ポンプは長期間メンテナンスなしで稼働します。35 インチ ASA または ISO 1000F（ボルト締め）注入口フランジが利用可能です。

このポンプは、真空ファーネス、熱処理、メタライジング、光学レンズ・エレクトロニクス・保護フィルム層のコーティングプロセスなどの産業アプリケーションに最適です。

お見積りはこちらお問合せはこちら

特長

5 段分割ジェットでポンプ液を浄化
ポンプ液の交換を容易にする充填・排出アセンブリ
堅牢なボイラー設計
さまざまな使用条件下での安定性と信頼性
高い許容背圧
低い到達圧力
高排気速度によるハイスループット
液量レベル用点検窓によりポンプの液面状態をいつでも素早く確認可能

ページTOP

仕様

逆流レート	5 x 10^-4 mg/cm²/min
クールダウン時間	60 分
電気要件	50/60 Hz 240/415/480 V
液充填	11356 CC
液タイプ	オイル
入力電圧	200、240、380、400、415、440、480、575 V
最大背圧 - 全負荷	0.40 Torr 0.52 mbar
最大背圧 - 無負荷	0.55 Torr 0.71 mbar
最大スループット	25 T-L/s（33 mbar-L/s）
操作範囲	9 x 10^-4 ～ < 5 x 10^-8 Torr 1.2 x 10^-3 ～ < 6.5 10^-8 mbar
ポンプ動力	24000 W
ポンプ重量	1500 ポンド 680.4 kg
排気速度 - 空気	28000 L/s
排気速度 - 空気、AVS 4.1（1963）経由	50000 L/s
排気速度 - He/H2	35000 L/s
推奨フォアラインポンプ	≥ 300 cfm（510 m³/hr）
ウォームアップ時間	60 分
給水接続	3/8 インチ FPT
水冷 - 温度要件	60-80 ℉ 15-26 ℃
水冷流量要件	4.0 gpm 910 L/hr