HS-20 ディフュージョンポンプ

ディフュージョンポンプ

HS-20 ディフュージョンポンプ

Agilent HS-20 オイル式ディフュージョンポンプは、ハイスループットで 10,000 L/s の高速排気速度を備えたポンプです。完全に最適化された蒸気ジェット、堅牢なボイラー設計、サーマル保護スイッチにより、ポンプは長期間メンテナンスなしで稼働します。20 インチ ASA または ISO 630K 注入口フランジが利用可能です。

このポンプは、真空ファーネス、熱処理、メタライジング、光学レンズ・エレクトロニクス・保護フィルム層のコーティングプロセスなどの産業アプリケーションに最適です。

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特長

  • 5 段分割ジェットがポンプ液を浄化し、低いベース圧力を保証
  • 高い許容背圧
  • 完全なサーマル保護
  • 液量レベル用点検窓により、ポンプの液面状態をいつでも素早く確認可能
  • ポンプ液の充填・排出アセンブリ
  • 注入口フランジ下に標準ゲージポート(NW-25)を設置
  • フォアラインバッフルによるフォアラインポンプシステムへの液漏洩防止
  • オプションのハローバッフルにより高さを増すことなく逆流を低減

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仕様

  • 逆流レート
    • 1.5 x 10-3 mg/cm²/min
    クールダウン時間
    • 45 分
    電気要件
    • 3 ph
    • 50/60 Hz
    • 240/415/480 V
    液充填
    • 4731 CC
    液タイプ
    • オイル
    入力電圧
    • 208、240、380、400、415、440、460、480、575 V
    最大背圧 - 全負荷
    • 0.55 Torr
    • 0.72 mbar
    最大背圧 - 無負荷
    • 0.65 Torr
    • 0.85 mbar
    最大スループット
    • 12.5 T-L/s(16.7 mbar-L/s)
    操作範囲
    • 1.3 x 10-3 ~ < 5 x 10-8 Torr
    • 1.7 x 10-3 ~ < 6.5 10-8 mbar
    ポンプ動力
    • 12000 W
    ポンプ重量
    • 600 ポンド
    • 272.2 kg
    排気速度 - 空気
    • 10000 L/s
    排気速度 - 空気、AVS 4.1(1963)経由
    • 17500 L/s
    排気速度 - He/H2
    • 12500 L/s
    推奨フォアラインポンプ
    • ≥ 100 cfm(170 m³/hr)
    ウォームアップ時間
    • 45 分
    給水接続
    • 1/4 インチ FPT
    水冷 - 温度要件
    • 60-80 ℉
    • 15-26 ℃
    水冷流量要件
    • 1.5 gpm
    • 340 L/hr

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