HS-16 ディフュージョンポンプ

ディフュージョンポンプ

HS-16 ディフュージョンポンプ

Agilent HS-16 オイル式ディフュージョンポンプは、ハイスループットで 6000 L/s の高速排気速度を備えたポンプです。完全に最適化された蒸気ジェット、堅牢なボイラー設計、サーマル保護スイッチにより、ポンプは長期間メンテナンスなしで稼働します。16 インチ ASA または ISO 500K 注入口フランジが利用可能です。

このポンプは、真空ファーネス、熱処理、メタライジング、光学レンズ・エレクトロニクス・保護フィルム層のコーティングプロセスなどの産業アプリケーションに最適です。

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特長

  • ポンプ液のメンテナンスを容易にする充填・排出アセンブリ
  • 5 段分割ジェットを用いたポンプ液の浄化によるクリーンな運転の実現
  • さまざまな使用条件下でも安定した信頼性の高い性能
  • フォアラインバッフルによるフォアラインポンプシステムへの液漏洩防止
  • 液量レベル用点検窓により、ポンプの液面状態をいつでも素早く確認可能
  • 高い許容背圧
  • 低い到達圧力
  • 堅牢なボイラー設計
  • 高排気速度によるハイスループット

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仕様

  • 逆流レート
    • 1.5 x 10-3 mg/cm²/min
    クールダウン時間
    • 30 分
    電気要件
    • 3 ph
    • 50/60 Hz
    • 240/415/480 V
    液充填
    • 2839 CC
    液タイプ
    • オイル
    入力電圧
    • 208、240、380、400、415、460、480、575 V
    最大背圧 - 全負荷
    • 0.55 Torr
    • 0.72 mbar
    最大背圧 - 無負荷
    • 0.65 Torr
    • 0.85 mbar
    最大スループット
    • 9.5 T-L/s(11.7 mbar-L/s)@8100 W
    操作範囲
    • 2 x 10-3 ~ < 5 x 10-8 Torr
    • 1.3 x 10-3 ~ < 6.5 10-8 mbar
    ポンプ重量
    • 500 ポンド
    • 227 kg
    排気速度 - 空気
    • 6000 L/s
    排気速度 - 空気、AVS 4.1(1963)経由
    • 10000 L/s
    排気速度 - He/H2
    • 7500 L/s
    推奨フォアラインポンプ
    • ≥ 80 cfm(136 m³/hr)
    ウォームアップ時間
    • 30 分
    給水接続
    • 1/4 インチ FPT
    水冷 - 温度要件
    • 60-80 ℉
    • 15-26 ℃
    水冷流量要件
    • 1.5 gpm
    • 340 L/hr

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サポート情報/商品

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