ディフュージョンポンプ

VHS-10 ディフュージョンポンプ

VHS-10 ディフュージョンポンプは最大 3650 L/s の排気速度を備えており、ASA または ISO フランジ、標準または拡張コールドキャップ、さまざまな電圧で注文できます。特許取得済みの Bulge Contour により、ガス捕捉量が増加し、低い圧力が維持されます。VHS ポンプにはすべて、ポンプ液の継続的な監視とメンテナンスを容易にする点検窓/充填・排出アセンブリが装備されています。フィン付きボイラーにより表面積が増大し、ポンプ液の寿命が延長されます。

この蒸気ジェットポンプは、真空ファーネス、熱処理、メタライジング、光学レンズ・エレクトロニクス・保護フィルム層のコーティングプロセスなどの産業アプリケーションに最適です。

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特長

特許取得済みの Bulge Contour によるガス捕捉量の向上
液レベル用点検窓によりポンプの液面状態をいつでも素早く確認可能
ポンプ液のメンテナンスを容易にする充填・排出アセンブリ
ハイスループット
分割ジェットを用いた液の浄化によるクリーンな運転の実現
高い許容背圧
完全なサーマル保護により、あらゆる熱過負荷から保護
ステンレス製ポンプ本体
フィン付きボイラーによる表面積の増加でポンプ液の寿命延長
クイック冷却コイルが標準装備

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仕様

逆流レート	5.0 x 10^-4 mg/cm²/min
クールダウン時間	25 分
電気要件	3 ph 50/60 Hz 208/240/380/480 V
液充填	1000 CC
液タイプ	オイル
入力電圧	208、240、380、400、440、480、575 V
最大背圧 - 全負荷	0.55 Torr 0.72 mbar
最大背圧 - 無負荷	0.65 Torr 0.85 mbar
最大スループット	6.3 T-L/s（8.4 mbar-L/s）
操作範囲	1.7 x 10^-3 ～ < 5 x 10^-9 Torr 2.3 x 10^-3 ～ < 6.5 10^-9 mbar
ポンプ動力	4400 W
ポンプ重量	150 ポンド 68 kg
排気速度 - 空気	3650 L/s
排気速度 - 空気、AVS 4.1（1963）経由	5300 L/s
排気速度 - He/H2	4560 L/s
推奨フォアラインポンプ	≥ 30 cfm（51 m³/hr）
ウォームアップ時間	15 分
給水接続	1/8 インチ FPT
水冷 - 温度要件	60-80 ℉ 15-26 ℃
水冷流量要件	0.5 gpm 115 L/hr