ディフュージョンポンプ

VHS-6 ディフュージョンポンプ

VHS-6 ディフュージョンポンプは最大 1550 L/s の排気速度を備えており、ASA または ISO フランジ、標準または拡張コールドキャップ、さまざまな電圧で注文できます。VHS ポンプにはすべて、ポンプ液の継続的な監視とメンテナンスを容易にする点検窓/充填・排出アセンブリが装備されています。特許取得済みの Bulge Contour により、ガス捕捉量が増加し、低い圧力が維持されます。フィン付きボイラーにより表面積が増大し、ポンプ液の寿命が延長されます。

この蒸気ジェットポンプは、真空ファーネス、熱処理、メタライジング、光学レンズ・エレクトロニクス・保護フィルム層のコーティングプロセスなどの高真空および産業アプリケーションに最適です。

お見積りはこちらお問合せはこちら

特長

特許取得済みの Bulge Contour によるガス捕捉量の向上
液量レベル用点検窓により、ポンプの液面状態をいつでも素早く確認可能
ポンプ液のメンテナンスを容易にする充填・排出アセンブリ
分割ジェットを用いたポンプ液の浄化によるクリーンな運転の実現
高い許容背圧
完全なサーマル保護により、あらゆる熱過負荷から保護
ステンレス製ポンプ本体とジェット
フィン付きボイラーによる表面積の増加でポンプ液の寿命延長
フォアラインバッフルによる液のバッキングシステムへの漏洩防止
クイック冷却コイルが標準装備

ページTOP

仕様

逆流レート	5 x 10^-4 mg/cm²/min
クールダウン時間	10 分
電気要件	1 ph 50/60 Hz 120/208/240 V
液充填	500 CC
液タイプ	オイル
入力電圧	120、208、240、400、480 V
最大背圧 - 全負荷	0.55 Torr 0.72 mbar
最大背圧 - 無負荷	0.65 Torr 0.85 mbar
最大スループット	2.4 T-L/s（3.2 mbar-L/s）
操作範囲	1.5 x 10^-3 ～ < 5 x 10^-9 Torr 2 x 10^-3 ～ < 6.5 10^-9 mbar
ポンプ動力	2200 W
ポンプ重量	75 ポンド 34 kg
排気速度 - 空気	1550 L/s
排気速度 - 空気、AVS 4.1（1963）経由	2400 L/s
排気速度 - He/H2	1930 L/s
推奨フォアラインポンプ	≥ 17.0 cfm（28.9 m³/hr）
ウォームアップ時間	10 分
給水接続	1/8 インチ FPT
水冷 - 温度要件	60-80 ℉ 15-26 ℃
水冷流量要件	0.25 gpm 57 L/hr