オイルロータリポンプ
DS 302 は、排気速度 11.6 m³/hr(50 Hz)または 8.2 CFM(60 Hz)、到達圧力 2 x 10-3 mbar 未満のデュアルステージ式オイルロータリポンプです。運転音が非常に静かで、世界各地の電圧に対応できる単相モーターと一体型電源スイッチを搭載しています。
ポンプには、停電時に吸気口ポートを遮断する吸気口アイソレーションバルブが組み込まれています。この逆流防止バルブにより粗引きまたはフォアラインの真空を維持し、ポンプオイルによって真空チャンバが汚染されないようにします。DS 302 には手動ガスバラストバルブも搭載されており、開弁時には、仕様に記載されているポンプ定格の水蒸気処理量を達成できます。
寸法(幅 x 高さ x 長さ) |
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排気口接続 |
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設計排気量 |
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高さ |
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注入口接続 |
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入力電圧 |
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長さ |
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最小/最大オイル容量 |
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排気速度(50 Hz) |
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排気速度(60 Hz) |
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回転速度(50 Hz 時) |
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到達分圧 |
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到達全圧(ガスバラスト使用時) |
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水蒸気排気量 |
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水蒸気許容圧力 |
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重量 |
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幅 |
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