超高真空と極高真空が実現する先端科学 | アジレント・テクノロジー

先端研究と真空技術が出会う場所

超高真空（UHV）と極高真空（XHV）は、亜原子粒子の分離や宇宙空間条件のシミュレーションなど、物理的宇宙を理解するための人間のさまざまな研究の中心的存在です。このような（物質がほぼない）特殊な超低圧条件は地球上にほぼ存在せず、特殊な装置と技法を用いて作り出す必要があります。真空の生成と維持方法を習得することは、自然界の高度な研究を追求するうえで、きわめて重要になります。

以下のリンク先のページで、超高真空が実現する先端研究と、研究の進化に役立つ真空を作り、これを測定および維持する方法について説明します。またはチャットで、アジレントの真空エキスパートにお問い合わせください。

超高真空および極高真空を生み出して維持する方法を理解

UHV の課題解決のためのベストプラクティス

障害を克服して超高真空を確実に作り出す方法をご紹介します。

UHV のベストプラクティスを見る

真空の簡単な作り方

必要な知識として真空の原理と作り方を説明します。

真空の原理を学ぶ

素粒子物理学とプラズマ物理学における真空

超高真空は、物理学の先端研究において重要な役割を果たします。

真空の活用例を見る

高真空から極高真空用の Agilent ポンプの詳細

Agilent 真空ポンプ：科学の進歩を促進するイノベーション: アジレントは、超高真空（UHV）および極高真空（XHV）を利用した科学的探究を数十年にわたりサポートしており、真空技術、製品、サービスの継続的なイノベーションに取り組んでいます。

ターボポンプ

アジレントは、業界トップレベルの堅牢なターボ分子真空ポンプおよびコントローラを提供しており、幅広いアプリケーションにわたり高い信頼性を実現しています。アジレントのターボポンプは 70 L/s から 2,300 L/s に及び、徹底的な検査と信頼できる販売後のサポートに支えられた革新的な設計が特徴です。

イオンポンプ

Agilent イオンポンプおよびコントローラは、お客様の真空要件に合わせて多様な構成で利用できます。ラボ、大規模研究機関、走査電子顕微鏡、表面分析ツールなど、安定した超高真空（UHV）または極高真空（XHV）条件が不可欠なアプリケーションに最適です。

Agilent イオンポンプおよびコントローラの詳細

オイル式ディフュージョンポンプ

Agilent VHS および HS ディフュージョンポンプは、排気速度が 65～28,000 L/s、動作範囲が 1 x 10^-3～5 x 10^-9 Torr です。アジレントの特許取得済みのふくらみ型ボディディフュージョンポンプ設計により、ポンプのスループットを最大化すると同時に、圧力安定性を実現して、逆流を最小限に抑えることができるため、真空コーティング、ロールツーロール沈着、メタライジング、ブレージング、熱処理などの重要なアプリケーションに最適です。

Agilent オイル式ディフュージョンポンプの詳細

粗引ポンプ

真空システムでは、超高真空（UHV）を生成する前の準備段階として低真空が使用されます。このプロセスでは通常、1 x 10^-3 Torr 超の圧力で動作する粗引ポンプを使用して、システム内のほとんどの空気分子を排気します。UHV 用に設計されたポンプは大気圧では動作できないため、この段階は非常に重要です。低真空が生成されると、さらに圧力を下げるために、UHV ポンプが処理を引き継ぎます。オイルシール式であるかドライ式であるかに関係なく、適切な粗引ポンプは、クリーンな真空状態の要件やメンテナンスなどの要因に応じて選択します。