ドライスクロールポンプ
真空ポンプアイソレーションバルブ（VPI）
Agilent 真空ポンプアイソレーション（VPI）バルブは、機械式ポンプに電気的に接続される吸気口保護バルブです。電源が遮断されると速やかにバルブが閉じ、オイルの逆流や真空システムへの粒子の混入を防ぎます。また、ポンプの吸気側から排気してゴミを出口に向かって押し出し、ポンプの再開時にゴミがシステムに流入しないようにします。
本体の設計とバルブの直角構成により、最大の伝導性が得られます。信頼性の高いシールにより、お客様の真空システムを高速な動作で保護します。
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