ドライスクロールポンプ
Agilent IDP-3 ドライスクロールポンプは、研究・分析機器・ラボ市場でのアプリケーションに適した革新的でコンパクトな高性能オイルフリー真空ポンプです。一般的な真空アプリケーション用に開発され、OEM システムに容易に組み込むことのできる最小のスクロールポンプです。
Agilent IDP ポンプはハーメチックで、モーターとすべてのベアリングが真空経路から完全に分離されています。この設計により、ベアリングの寿命が延び、清浄でドライな真空が実現します。IDP ポンプはシングルサイドスクロール設計を採用しており、簡単な道具を用いて 15 分でメンテナンスを実施できます。
ベース圧力(50 Hz)- Torr & mbar |
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ベース圧力(60 Hz)- Torr & mbar |
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寸法(幅 x 高さ x 長さ) |
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排気口接続 |
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高さ |
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吸気口接続 |
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長さ |
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最大吸気口圧力 |
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ノイズレベル |
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動作時の周囲温度 |
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排気速度(50 Hz) |
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排気速度(60 Hz) |
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出荷時重量 |
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重量(ポンプのみ) |
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幅 |
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ドライスクロールポンプは、幅広い用途に適した清浄でオイルフリーの粗引ポンプです。スクロールポンプは、固定スクロールと旋回スクロールの 2 つの入れ子になった螺旋スクロールを使用して真空を生成します。一方のスクロールがもう一方のスクロール内で旋回すると、ガスがポンプの中心に向かう経路に沿って移動しながら圧縮され、排出されます。
アジレントの真空保護アイソレーション(VPI)バルブはオプションでスクロールポンプにシームレスに一体化されており、電源喪失時の突然のベントからターボポンプと真空システムを保護します。VPI バルブが組み込まれている場合、そのバルブはポンプの入口に配置され、他のスクロールポンプで使用される逆流防止ポペット排気バルブとは対照的に、ポンプ内のガスの全量が逆方向に移動しません。
通常の動作では、スプリングでバルブが開いた状態に保持されますが、電源が失われると、ソレノイドバルブが 20 ミリ秒以内に VPI バルブを閉じ、真空システムを遮断します。