ターボポンプ用ベント機器

ターボポンプとコントローラ

ターボポンプ用ベント機器

ターボポンプ用ベントバルブは、ターボ分子ポンプに対して、承認された正しいベントおよび減速手続きを確実に行います。ポンプが停止した、または電源が喪失した場合、ベントバルブは、電磁的に作動するバルブにより管理されるキャリブレーション済みのオリフィスを経由して、定められたガス流をターボポンプに注入します。

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