Turbo-V 3K-G ポンプ

ターボポンプとコントローラ

Turbo-V 3K-G ポンプ

Agilent Turbo-V 3K-G 高スループットターボ分子ポンプは真空専用ポンプシステムで、薄膜形成機器専用ターボポンプとして設計されています。そのポンプステージとポンプ構造全体は、高温の負荷がかかる中で超高流量のアルゴンを扱えるように最適化されています。

この堅牢なターボポンプは頑丈に設計されていて、過酷な製造環境に適しています。産業用真空コーティングの代表的なアプリケーションには、太陽電池やフラットパネルディスプレイの製造があります。Turbo-V 3K-G は、その堅牢な設計と、高度な統合型電子装置により、真空コーティング業界に最適なポンプソリューションとなっています。

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特長

  • 薄膜形成向けに設計されたアプリケーションに特化したポンプソリューション
  • 超高流量のアルゴンを扱えるように最適化
  • ポンプとコントローラが一体化され、どのような配置も可能であるため、設置面積を小さくしたシンプルな運用が可能
  • 高レベルのガス流量に対応し、DN 250 の高スループットアプリケーションでの運用を可能に
  • 頑丈な設計と高効率の冷却システムで連続運転を実現
  • ポンプガスのパージにより、ポンプのベアリングを保護。システムの汚染物質や微粒子があっても、シームレスな運転を可能に
  • 低ノイズで、システムに影響なし
  • 運用コストのかからない、メンテナンスフリーのベアリング
  • Vacuum Link アプリを介した無線コントロールに対応し、外出先や Profibus でもポンプ操作可能
  • アナログ I/O 信号や A-Plus ソフトウェアによるリモート制御のための RS232/RS485 など、多機能エレクトロニクスインタフェース

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仕様

  • 使用周囲温度
    • +5～+35 ℃
    保管周囲温度
    • -20～+70 ℃
    到達圧力
    • < 1 x 10-6 Pa
    圧縮率 He
    • 6 x 103
    圧縮率 N2
    • > 1 x 107
    フランジタイプ
    • DN 250 ISO-F
    フォアラインフランジサイズ
    • KF 40 NW
    フォアライン圧力の限界値 - N2
    • 0.5 x 10² Pa
    公称回転速度
    • 31800 rpm（動作周波数/530 Hz）
    動作位置
    • 任意
    排気速度 - Ar
    • 2050 L/s
    排気速度 - He
    • 1900 L/s
    排気速度 - N2
    • 2200 L/s
    粗引き用ポンプの推奨容量
    • 60 m³/h
    規格と認定
    • EN 55011（電波障害特性）
      EN 61000-3-2（電源高調波電流の制限）
      EN 61000-3-3（電圧変化、電圧変動、フリッカの制限）
      EN 61000-6-2 および EN 61326（工業環境のイミュニティ）これらは以下を想起させる：
      EN 61000-4-2（静電気放電現象）
      EN 61000-4-3（高周波輻射現象）
      EN 61000-4-4、EN 61000-4-5、EN61000-4-6（伝導性高周波現象）
      EN 61000-4-11（電圧変動、電圧ディップ、瞬停）
    起動時間
    • < 6 min
    重量
    • 52 kg

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