Turbo-V 2300 TwisTorr ポンプ

ターボポンプとコントローラ

Turbo-V 2300 TwisTorr ポンプ

Turbo-V 2300 TwisTorr ポンプは、DN 250 で 2050 L/s の排気速度を提供します。圧縮率が高いため、非常に低い到達圧力で動作でき、フォアライン圧力耐性に優れているため、多様な小型 1 次ポンプを選択できます。メンテナンス頻度が低い Turbo-V 2300 TwisTorr は、研究アプリケーションに最適な選択肢です。

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特長

  • DN 250 フランジで、軽量ガスに対する高い圧縮率
  • 炭化水素フリーでクリーンな真空システムを実現
  • 運用コストのかからない、メンテナンスフリーのベアリング
  • Vacuum Link アプリを介した無線コントロールに対応し、外出先でもポンプ操作可能
  • 電子装置を内蔵しない耐放射線および耐磁場設計で、厳しい磁界や放射線環境でも動作
  • 低い電磁放射が、アプリケーションプロセスへの非干渉を保証

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仕様

  • 使用周囲温度
    • +5～+35 ℃
    保管周囲温度
    • -20～+70 ℃
    到達圧力
    • 1 x 10-8 Pa
    圧縮率 H2
    • 4 x 104
    圧縮率 He
    • 8 x 105
    圧縮率 N2
    • > 8 x 108
    フランジタイプ
    • DN 250
    フォアラインフランジサイズ
    • KF 40 NW
    フォアライン圧力の限界値 - N2
    • 4 x 10² Pa
    最大ガススループット - Ar、水冷
    • 3 x 10² Pa L/s、200 sccm
    最大ガススループット - N2、水冷
    • 10 x 10² Pa L/s、600 sccm
    ノイズレベル
      < 60 dB(A)
    公称回転速度
    • 33300 rpm（動作周波数/555 Hz）
    動作位置
    • 垂直/上下逆
    排気速度 - H2
    • 1500 L/s
    排気速度 - He
    • 1800 L/s
    排気速度 - N2
    • 2050 L/s
    粗引き用ポンプの推奨容量
    • 30 m³/h
    起動時間
    • < 6 min
    振動レベル
    • < 0.01 μm（注入口フランジで）
    重量
    • 54.2 kg

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