Turbo-V 1001 Navigator ポンプ

ターボポンプとコントローラ

Turbo-V 1001 Navigator ポンプ

Turbo-V 1001 は、DN 160、200、250 で最高排気速度 1050 L/s を実現します。圧縮率が高く、フォアライン圧力耐性に優れ、メンテナンス頻度が低い Turbo-V 1001 は、優れた性能と信頼性で、所有コストを抑えて運用できるポンプです。

Turbo-V 1001 は炭化水素フリーの運用が可能で、大型 UHV システム、核研究、イオン注入装置、表面分析、電子顕微鏡検査など、高排気速度を必要とするアプリケーションに最適です。

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特長

  • 軽量ガスに対する高い圧縮率が、DN 160 や 200、250 注入口フランジを使った、低到達圧力での運用を可能にします。
  • 炭化水素フリーでクリーンな真空システムを実現
  • 100 m 離れたところからの操作を可能にするリモートコントローラ
  • どのような配置も可能で、統合が簡単
  • 運用コストのかからない、メンテナンスフリーのベアリング
  • Vacuum Link アプリを介した無線コントロールに対応し、外出先でもポンプ操作可能
  • 電子装置を内蔵しない耐放射線および耐磁場設計で、厳しい磁界や放射線環境でも動作
  • 低い電磁放射が、アプリケーションプロセスへの非干渉を保証
  • 低振動、低ノイズで、システムに影響なし

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仕様

  • 使用周囲温度
    • +5～+35 ℃
    保管周囲温度
    • -20～+70 ℃
    到達圧力
    • < 1 x 10-8 Pa
    圧縮率 H2
    • 1 x 106
    圧縮率 He
    • 1 x 107
    圧縮率 N2
    • 1 x 109
    フランジタイプ
    • DN 160
    • DN 200
    • DN 250
    フォアラインフランジサイズ
    • KF 40 NW
    最大ガススループット - Ar、水冷
    • 7.5 x 10² Pa L/s、444 sccm
    最大ガススループット - N2、水冷
    • 10 x 10² Pa L/s、592 sccm
    ノイズレベル
      45 dB(A)
    公称回転速度
    • 38000 rpm（動作周波数/633 Hz）
    動作位置
    • 任意
    排気速度 - H2
    • 920 L/s（DN 250 フランジ）
    排気速度 - He
    • 900 L/s（DN 250 フランジ）
    排気速度 - N2
    • 1050 L/s（DN 250 フランジ）
    粗引き用ポンプの推奨容量
    • 15 m³/h
    規格と認定
    • UNI EN 292-1 UNI EN 292-2 EN-CENELEC 55011 IEC 1000-4-2 (ex 801-2) IEC 1000-4-3 (ex 801-3) IEC 1000-4-4 (ex 801-4) EN 61010-1 (IEC 1010-1) EN 1012-2
    起動時間
    • < 4 min
    重量
    • 21.2 kg

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