ターボポンプとコントローラ

TwisTorr 404 FS ターボポンプ

TwisTorr 404 FS は、DN 100に 400 L/s の排気速度と、軽量ガスに対する高い圧縮率を提供します。Agilent フローティングサスペンション（AFS）を備え、感度や精度を要求される環境に適した低振動、低ノイズを実現します。圧縮率が高く、フォアライン圧力耐性に優れ、メンテナンス頻度が低い TwisTorr 404 FS は、優れた性能と信頼性で、所有コストを抑えて運用できるポンプです。

404 FS は、UHV システム、核研究、イオン注入装置、表面分析、電子顕微鏡検査、冷却アプリケーションなどに最適です。ポンプのスマートコントローラが、システムのニーズに応じてポンプ性能を自動的に最適化します。

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特長

軽量ガスに対する高い圧縮率と高レベルのガス流量を管理する能力で、DN 100 フランジ内において 400L/s の排気速度を実現し、到達圧力が低く、スループットの高いアプリケーションでの運用を可能にします。
炭化水素フリーでクリーンな真空システムを実現
100 m 離れたところからの操作を可能にするリモートコントローラ
低振動、低ノイズ - 43 dB(A) - で、高感度の測定において快適な作業環境と操作を実現
小型で、どのような配置も可能なため統合が簡単
運用コストのかからない、メンテナンスフリーのベアリング
Vacuum Link アプリを介した無線コントロールに対応し、外出先でもポンプ操作可能
電子装置を内蔵しない耐放射線および耐磁場設計で、厳しい磁界や放射線環境でも動作
低い電磁放射が、アプリケーションプロセスへの非干渉を保証
ポンプ制御ソフトウェアが柔軟性、速度、簡易性を最大化し、常に、ポンプの動作条件に合った最高のスループットと圧縮性能をもたらします。

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仕様

使用周囲温度	+5～+35 ℃
保管周囲温度	-40～+70 ℃
到達圧力	< 1 x 10^-8 Pa
圧縮率 H2	3 x 10⁶
圧縮率 He	2 x 10⁸
圧縮率 N2	> 1 x 10¹¹
冷却方法	空冷水冷
フランジタイプ	DN 100
フォアラインフランジサイズ	KF 25 NW
フォアライン圧力の限界値 - N2	10 x 10² Pa
最大ガススループット - Ar、水冷	3.3 x 10² Pa L/s、195 sccm
最大ガススループット - N2、水冷	6.2 x 10² Pa L/s、367 sccm
ノイズレベル	43 dB(A)
公称回転速度	40800～49500 rpm（動作周波数/680～825 Hz）
動作位置	任意
排気速度 - Ar	340 L/s
排気速度 - H2	415 L/s
排気速度 - He	505 L/s
排気速度 - N2	380 L/s
粗引き用ポンプの推奨容量	10 m³/h
規格と認定	61326-1 61010-1 DIR 2006/42/CE DIR 2014/35/EU DIR 2014/30/EU DIR 2011/65/EU
起動時間	< 5 min
重量	22.6 kg

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機能および原理

TwisTorr ドラッグ技術
ターボステージからやってきたガス分子は、TwisTorr ドラッグステージを通って運ばれます。分子はドラッグ技術により圧縮され、断面が徐々に小さくなる特殊な形状をした一連のチャネルを経由して出口へと導かれます。ガスは圧縮後、最高 20 mbar（2000 Pa）の圧力で排気されますが、これは小型で低コストの粗引き用ポンプで簡単に管理できます。
Agilent フローティングサスペンション（AFS）
Agilent フローティングサスペンション（AFS）技術は、すべての作業フェーズにおいて、TwisTorr ポンプのロータ位置を完全かつ正確に制御します。位置決め精度はミリメートルに満たない範囲で、ダンピング効果によりロータの残留振動が大幅に軽減されるため、ポンプのノイズと振動も軽減されます。この 2 つの特徴は、走査電子顕微鏡（SEM）など、一部のアプリケーションでは非常に重要です。
過酷な環境に対する設計の選択肢
TwisTorr ポンプには、最長 100 m のケーブルで遠隔操作できるという特徴があります。これは過酷な設置環境に比類のない柔軟性をもたらします。ポンプは電子部品を内蔵しない設計で、磁場や放射線に関係するものを含む、さまざまなアプリケーションに適応します。放射線吸収の上限は 5 x 105 グレイ（Gy）に達し、磁場の限界は水平方向に 5 mT（50 ガウス）、垂直方向に 10 mT（100 ガウス）です。