TwisTorr 305-IC SF ターボポンプ、一体型コントローラ搭載

ターボポンプとコントローラ

TwisTorr 305-IC SF ターボポンプ、一体型コントローラ搭載

デュアル注入口と一体型コントローラを搭載した TwisTorr 305-IC ターボ分子ポンプは、近距離無線通信(NFC)を介して、スマートフォン上の Vacuum Link アプリと通信できます。

設置面積が小さく、低振動、低ノイズレベルのこの 300 L/s ターボポンプは、高レベルのガス流量を必要とする計測機器や産業での使用に最適です。

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特長

  • 一体型コントローラを備え、小型で、どのような配置も可能なため統合が簡単
  • スループットが高いため、中~高レベルのガス流量のアプリケーションで使用可能
  • アプリ経由で無線 NFC 通信を行い、ポンプをモニタリング
  • 低振動、低ノイズ - 41 dB(A) - で、高感度の測定において快適な作業環境と操作を実現
  • 炭化水素フリーでクリーンな真空システムを実現
  • 運用コストのかからない、メンテナンスフリーのベアリング
  • 低い電磁放射が、アプリケーションプロセスへの非干渉を保証

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仕様

  • 使用周囲温度
    • +5~+35 ℃
    保管周囲温度
    • -40~+70 ℃
    到達圧力
    • < 1 x 10-8 Pa
    • < 1 x 10-10 Torr
    圧縮率 H2
    • 2 x 104
    圧縮率 He
    • 1 x 105
    圧縮率 N2
    • 2 x 108
    サイドポートの圧縮率 H2
    • 1 x 102
    サイドポートの圧縮率 He
    • 1.4 x 102
    サイドポートの圧縮率 N2
    • 2.1 x 102
    冷却方法
    • 空冷
    • 水冷
    フランジタイプ
    • DN 100 ISO-K
    フォアラインフランジサイズ
    • KF 16 NW
    フォアライン圧力の限界値 - N2
    • 16 x 10² Pa
    最大ガススループット - He、水冷
    • 500 sccm
    最大ガススループット - N2、水冷
    • 450 sccm
    ノイズレベル
    • 41 dB(A)
    公称回転速度
    • 60600 rpm(動作周波数/1010 Hz)
    動作位置
    • 任意
    排気速度 - H2
    • 220 L/s
    排気速度 - He
    • 255 L/s
    排気速度 - N2
    • 250 L/s
    サイドポートの排気速度 H2
    • 14.5 L/s
    サイドポートの排気速度 He
    • 15 L/s
    サイドポートの排気速度 N2
    • 11 L/s
    粗引き用ポンプの推奨容量
    • 7 m³/h
    規格と認定
    • EN 61010-1
      EN 61326-1
      EN 1012-2
      EN 12100
      EN 50581
      機械指令 2006/42/EC
      電磁適合性指令 2014/30/
      EU 指令 2011/65/EU
    起動時間
    • < 3 min
    重量
    • 5.84 kg

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