一体型コントローラ搭載 TwisTorr 305-ICQ ターボポンプ

ターボポンプとコントローラ

一体型コントローラ搭載 TwisTorr 305-ICQ ターボポンプ

一体型コントローラを搭載した高流量ターボ分子ポンプ TwisTorr 305-ICQ は、高レベルのガス流量を必要とする研究プロセスや産業での使用に最適です。

この 300 L/s ポンプは設置面積が小さく、低振動、低ノイズレベルで、近距離無線通信（NFC）を介して、スマートフォン上の Vacuum Link アプリと通信できます。

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特長

  • 一体型コントローラを備え、小型で、どのような配置も可能なため統合が簡単
  • スループットが高いため、中～高レベルのガス流量のアプリケーションで使用可能
  • アプリ経由で無線 NFC 通信を行い、ポンプをモニタリング
  • 低振動、低ノイズ - 41 dB(A) - で、高感度の測定において快適な作業環境と操作を実現
  • 炭化水素フリーでクリーンな真空システムを実現
  • 運用コストのかからない、メンテナンスフリーのベアリング
  • 低い電磁放射が、アプリケーションプロセスへの非干渉を保証

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仕様

  • 使用周囲温度
    • +5～+35 ℃
    保管周囲温度
    • -40～+70 ℃
    到達圧力
    • < 1 x 10-8 Pa
    • < 1 x 10-10 Torr
    圧縮率 H2
    • 2 x 104
    圧縮率 He
    • 1 x 105
    圧縮率 N2
    • 2 x 108
    冷却方法
    • 空冷
    • 水冷
    フランジタイプ
    • DN 100
    • DN 160
    フォアラインフランジサイズ
    • KF 16 NW
    フォアライン圧力の限界値 - N2
    • 16 x 10² Pa
    最大ガススループット - He、水冷
    • 500 sccm
    最大ガススループット - N2、水冷
    • 380 sccm
    ノイズレベル
    • 41 dB(A)
    公称回転速度
    • 60600 rpm（動作周波数/1010 Hz）
    動作位置
    • 任意
    排気速度 - H2
    • 220 L/s
    排気速度 - He
    • 255 L/s
    排気速度 - N2
    • 250 L/s
    粗引き用ポンプの推奨容量
    • 7 m³/h
    規格と認定
    • EN 61010-1
      EN 61326-1
      EN 1012-2
      EN 12100
      EN 50581
      機械指令 2006/42/EC
      電磁適合性指令 2014/30/
      EU 指令 2011/65/EU
    起動時間
    • < 3 min
    重量
    • 5.74 kg

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