使用周囲温度 |
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保管周囲温度 |
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到達圧力 |
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圧縮率 H2 |
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圧縮率 He |
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圧縮率 N2 |
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冷却方法 |
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フランジタイプ |
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フォアラインフランジサイズ |
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フォアライン圧力の限界値 - N2 |
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最大ガススループット - N2、水冷 |
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ノイズレベル |
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公称回転速度 |
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動作位置 |
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排気速度 - Ar |
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排気速度 - H2 |
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排気速度 - He |
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排気速度 - N2 |
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粗引き用ポンプの推奨容量 |
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規格と認定 |
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起動時間 |
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重量 |
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TwisTorr 305-ICには、アジレントの主要テクノロジーであるTwisTorr ドラッグステージ、Agilent フローティングサスペンション(AFS)、統合型電子装置の 3 つが組み込まれています。TwisTorr 305-IC の詳細については、製品カタログをご覧ください。
TwisTorr ドラッグ技術は、ターボステージからガス分子を集め、一連の並列チャネルを経由して、出口へと導きます。断面積が徐々に小さくなっていく特別な形状でガスを圧縮し、最高 20 mbar の圧力で排気しますが、これは小型で低コストの粗引き用ポンプで簡単に管理できます。
AFS 技術により、TwisTorr 305-IC のロータ位置を(コンマ数 mm 単位で)完全かつ正確に制御できます。また、ロータの残留振動を大幅に低減し、結果として、ポンプのノイズと振動を低減することもできます。マイクロプロセッサを搭載した統合型電子機器がポンプを動的に操作し、アプリケーションに適応した性能を実現します。Vacuum Link アプリ(NFC を経由)、または A-PLUS ソフトウェア(シリアルインタフェース経由)により、統合型電子装置がもたらすさまざまな制御やインタフェースの機会を最大限に活用することができます。