ターボポンプとコントローラ

TwisTorr 84 FS ターボポンプ

TwisTorr 84 FS は 80 L/s の小型ターボポンプで、軽量ガスの極めて低い分圧を実現します。ターボテクノロジーと革新的な TwisTorr ドラッグステージの相乗効果によって研究開発や UHV システム、核研究に最適な高い圧縮率を生み出します。

フローティングサスペンション（AFS）が低振動、低ノイズを実現、高感度の機器や精度を要求される作業環境にも対応します。独自のカンチレバーサスペンションが、アプリケーションに対する磁気干渉や炭化水素による汚染を防ぎます。

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特長
仕様
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特長

軽量ガスに対する極めて高い圧縮率と炭化水素フリーの設計により、低い到達圧力を実現
100 m 離れたところからの操作を可能にするリモートコントローラ
フォアライン圧力の高い限界値が小型ロータリポンプの使用を可能にし、コストと設置面積を低減
低振動、低ノイズ - 41 dB(A) - で、高感度の測定において快適な作業環境と操作を実現
運用コストのかからない、メンテナンスフリーのベアリング
小型で、どのような配置も可能なため統合が簡単
システム圧力をモニタリングするためのゲージ読み取り機能
Vacuum Link アプリを介した無線コントロールに対応し、外出先でもポンプ操作可能
電子装置を内蔵しない耐放射線および耐磁場設計で、厳しい磁界や放射線環境でも動作
低い電磁放射が、アプリケーションプロセスへの非干渉を保証

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仕様

使用周囲温度	+5～+35 ℃
保管周囲温度	-40～+70 ℃
到達圧力	< 5 x 10^-8 Pa
圧縮率 H2	5 x 10⁴
圧縮率 He	2 x 10⁶
圧縮率 N2	> = 1 x 10¹¹
冷却方法	空冷水冷
フランジタイプ	DN 63 KF 40
フォアラインフランジサイズ	KF 16 NW
フォアライン圧力の限界値 - N2	14 x 10² Pa
最大ガススループット - Ar、水冷	70 sccm
最大ガススループット - N2、水冷	100 sccm
ノイズレベル	40 dB(A)
公称回転速度	81000 rpm（動作周波数/1350 Hz）
動作位置	任意
排気速度 - Ar	66 L/s
排気速度 - H2	53 L/s
排気速度 - He	63 L/s
排気速度 - N2	67 L/s
粗引き用ポンプの推奨容量	3 m³/h
規格と認定	CE、C-CSA-US、RoHS 2011/65/UE に準拠
起動時間	< 2 min
重量	2.05 kg

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機能および原理

TwisTorr ドラッグ技術
ターボステージからやってきたガス分子は、TwisTorr ドラッグステージを通って運ばれます。分子はドラッグ技術により圧縮され、断面が徐々に小さくなる特殊な形状をした一連のチャネルを経由して出口へと導かれます。ガスは圧縮後、最高 20 mbar（2000 Pa）の圧力で排気されますが、これは小型で低コストの粗引き用ポンプで簡単に管理できます。
Agilent フローティングサスペンション（AFS）
Agilent フローティングサスペンション（AFS）技術は、すべての作業フェーズにおいて、TwisTorr ポンプのロータ位置を完全かつ正確に制御します。位置決め精度はミリメートルに満たない範囲で、ダンピング効果によりロータの残留振動が大幅に軽減されるため、ポンプのノイズと振動も軽減されます。この 2 つの特徴は、走査電子顕微鏡（SEM）など、一部のアプリケーションでは非常に重要です。
過酷な環境に対する設計の選択肢
TwisTorr ポンプには、最長 100 m のケーブルで遠隔操作できるという特徴があります。これは過酷な設置環境に比類のない柔軟性をもたらします。ポンプは電子部品を内蔵しない設計で、磁場や放射線に関係するものを含む、さまざまなアプリケーションに適応します。放射線吸収の上限は 5 x 105 グレイ（Gy）に達し、磁場の限界は水平方向に 5 mT（50 ガウス）、垂直方向に 10 mT（100 ガウス）です。