TwisTorr 74 FS ターボポンプ

ターボポンプとコントローラ

TwisTorr 74 FS ターボポンプ

TwisTorr 74 FS は小型の 70 L/s ターボポンプで、研究開発、UHV システム、核研究、電子顕微鏡検査に適しています。ターボテクノロジーと革新的な TwisTorr ドラッグステージの相乗効果によって高い真空性能を生み出します。

フローティングサスペンションが低振動、低ノイズを実現、高感度の機器や精度を要求される作業環境にも対応します。独自のカンチレバーサスペンションが、アプリケーションに対する磁気干渉や炭化水素による汚染を確実に防ぎます。

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特長

  • 軽量ガスに対する高い圧縮率と炭化水素フリーの設計により、低い到達圧力を実現
  • 100 m 離れたところからの操作を可能にするリモートコントローラ
  • フォアライン圧力の高い限界値が小型ロータリポンプの使用を可能にし、コストと設置面積を低減
  • 低振動、低ノイズ - 41 dB(A) - で、高感度の測定において快適な作業環境と操作を実現
  • 運用コストのかからない、メンテナンスフリーのベアリング
  • 小型で、どのような配置も可能なため統合が簡単
  • システム圧力をモニタリングするためのゲージ読み取り機能
  • Vacuum Link アプリを介した無線コントロールに対応し、外出先でもポンプ操作可能
  • 電子装置を内蔵しない耐放射線および耐磁場設計で、厳しい磁界や放射線環境でも動作
  • 低い電磁放射が、アプリケーションプロセスへの非干渉を保証

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仕様

  • 使用周囲温度
    • +5～+35 ℃
    保管周囲温度
    • -40～+70 ℃
    到達圧力
    • < 5 x 10-8 Pa
    圧縮率 H2
    • 1 x 104
    圧縮率 He
    • 2 x 105
    圧縮率 N2
    • 1 x 109
    冷却方法
    • 空冷
    • 水冷
    フランジタイプ
    • DN 63
    • KF 40
    フォアラインフランジサイズ
    • KF 16 NW
    フォアライン圧力の限界値 - N2
    • 12 x 10² Pa
    最大ガススループット - Ar、水冷
    • 80 sccm
    最大ガススループット - N2、水冷
    • 130 sccm
    ノイズレベル
    • 40 dB(A)
    公称回転速度
    • 70000 rpm（動作周波数/1167 Hz）
    動作位置
    • 任意
    排気速度 - Ar
    • 59 L/s
    排気速度 - H2
    • 42 L/s
    排気速度 - He
    • 54 L/s
    排気速度 - N2
    • 60 L/s
    粗引き用ポンプの推奨容量
    • 3 m³/h
    規格と認定
    • CE、C-CSA-US、RoHS
      2011/65/UE に準拠
    起動時間
    • < 2 min
    重量
    • 2.05 kg

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機能および原理

  • TwisTorr ドラッグ技術

    ターボステージからやってきたガス分子は、TwisTorr ドラッグステージを通って運ばれます。分子はドラッグ技術により圧縮され、断面が徐々に小さくなる特殊な形状をした一連のチャネルを経由して出口へと導かれます。ガスは圧縮後、最高 20 mbar（2000 Pa） の圧力で排気されますが、これは小型で低コストの粗引き用ポンプで簡単に管理できます。

  • Agilent フローティングサスペンション（AFS）

    Agilent フローティングサスペンション（AFS）技術は、すべての作業フェーズにおいて、TwisTorr ポンプのロータ位置を完全かつ正確に制御します。位置決め精度はミリメートルに満たない範囲で、ダンピング効果によりロータの残留振動が大幅に軽減されるため、ポンプのノイズと振動も軽減されます。この 2 つの特徴は、走査電子顕微鏡（SEM）など、一部のアプリケーションでは非常に重要です。

  • 過酷な環境に対する設計の選択肢

    TwisTorr ポンプには、最長 100 m のケーブルで遠隔操作できるという特徴があります。これは過酷な設置環境に比類のない柔軟性をもたらします。ポンプは電子部品を内蔵しない設計で、磁場や放射線に関係するものを含む、さまざまなアプリケーションに適応します。放射線吸収の上限は 5 x 105 グレイ（Gy）に達し、磁場の限界は水平方向に 5 mT（50 ガウス）、垂直方向に 10 mT（100 ガウス）です。

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