SFC および UV 検出による E7 液晶混合物中の化合物の定量
紫外検出、組成の相対定量、および統計的評価を用いた、液晶ディスプレイに広く使用されている E7 液晶混合物中の液晶化合物の定量メソッドについて取り上げています。このメソッドでは、超臨界流体クロマトグラフィーを使用して、市販の液晶混合物をわずか数分で高速分離できることが実証されました。合計分析時間は従来メソッドの 1/20 に短縮されました。
半導体製造プロセスをとおして有機不純物をモニタリングし、抑制することがきわめて重要になります。微量の不純物が存在するだけでも、歩留まりの低下につながるおそれがあるからです。アジレントは、シリコンウエハ、太陽電池 PV シリコン、高純度プロセス薬品、超純水、有機溶媒、フォトレジストなど幅広いサンプルの微量不純物を分析する機器およびワークフローソリューションを提供し、半導体プロセスの有機不純物分析をサポートしています。
紫外検出、組成の相対定量、および統計的評価を用いた、液晶ディスプレイに広く使用されている E7 液晶混合物中の液晶化合物の定量メソッドについて取り上げています。このメソッドでは、超臨界流体クロマトグラフィーを使用して、市販の液晶混合物をわずか数分で高速分離できることが実証されました。合計分析時間は従来メソッドの 1/20 に短縮されました。
過酸化水素は、気相分解と全反射蛍光 X 線を組み合わせた測定時に、シリコンウエハ上のカチオン汚染物質を回収するための酸化剤として使用されています。このアプリケーションノートで紹介するメソッドでは、キャピラリー電気泳動を使用することにより、イオンクロマトグラフィー法より迅速かつ簡単に、対象アニオンを高速定量できました。また、分解や希釈が不要なため、クロスコンタミネーションのリスクが最小限に抑えられます。
半導体製造から汚染を排除するためには、周囲空気中の有機不純物を検出することがきわめて重要になります。このアプリケーションノートで取り上げる研究では、冷媒を用いない熱脱着と、ガスクロマトグラフィーおよびシングル四重極質量分析計で構成されるシステム（GC/MSD）を使用して、有機ターゲット化合物 65 種を検出しました。このシステムによるターゲット化合物の同定性能は、US EPA メソッド TO-15 で規定された環境安全基準を優に満たし、半導体製造に十分な 4 pptv という低い検出下限が実現されました。
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