真空システム用消耗品

• 3 か月ごとに、プラズマを ON にしてポンプのオイルレベルを確認してください。
• オイルレベルはゲージの Max と Min の間のレベルに保ってください。
• オイルは約 6 か月ごとに交換が必要です。

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