クリーンルーム汚染物質の分析

Pub.No. GC-MS-201306NK-003

MARKES TD（加熱脱着装置）によるクリーンルーム汚染物質の分析

MARKES社加熱脱着装置（TD）は、高生産性（100検体のオートサンプラ）、低ランニングコスト（冷媒不要）、再捕集機能（再分析可能）の3つの特長を持っています。本アプリケーションノートでは、クリーンルーム汚染物質（環状シロキサン、BHT、フタル酸エステル類、リン酸エステル類、アジピン酸エステル類など）について、MARKES社TDで検討を行い、良好な結果が得られましたので報告します。

分野	環境
キーワード	加熱脱着装置、ペルチェ冷却（電子冷却）、再捕集、クリーンルーム汚染物質、GC/MS
掲載年月	2013/06
ページ数	2ページ （PDFファイルサイズ 333kB）

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（PDF 334KB）