HJ 759-2023 標準の要件を完全に満たすスキャンおよび SIM モードの両方を用いたメソッド

Pub.No. 5994-7723JAJP

Agilent 8890/5977 GC/MSD を用いたキャニスターサンプリングによる環境大気中の65 種類の揮発性有機化合物の分析

このアプリケーションノートでは、ガスサンプリングのためのキャニスターの使用について紹介します。Agilent 5977 シングル四重極質量選択検出器（MSD）および Markes のマルチガス熱脱着（TD）を組み合わせた Agilent 8890 ガスクロマトグラフ（GC）にサンプルを導入し、大気中または半導体クリーンルーム中の揮発性有機化合物（VOC）を分析しました。

VOC は身近な有機汚染物質であり、環境に大きな影響を及ぼします。また、半導体製造企業（ウェハメーカーなど）では、クリーンルーム内の VOC を厳格に制御する必要があります。マルチガス CIA Advantage-xr TD と組み合わせた Agilent 8890/5977 GC/MSD システムは、環境大気中の 65 種類の VOC 分析のための堅牢な分析手順を実現します。このシステムは、大気質モニタリングラボおよび半導体クリーンルームの両方において、複数の VOC の同時分析のための、有効性と感度の優れたソリューションとなります。

分野	半導体/電子材料、環境
キーワード	Agilent Multi Gas CIA Advantage-xr TD; TD-GC/MSD; GC China method HJ 759-2023; Agilent 8890/5977 GC/MSD; Agilent GC canister sampling; GC analysis of VOCs; Agilent GC VOC analysis; VOCs in ambient air; volatile organic compounds analysis
掲載年月	2025/03
ページ数	13ページ （PDFファイルサイズ 1.23MB）

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