LC/MS による PFAS 分析　－ 半導体関連分野への応用

Pub.No. 5994-7246JAJP

Agilent 6475 トリプル四重極 LC/MS を用いた半導体潤滑油中の従来の PFAS と新たに懸念される PFAS の定量分析

ペルフルオロポリエーテル（PFPE）、ポリテトラフルオロエチレン（PTFE）、および類似のフッ素ポリマーが主な物質である半導体製造工程では、ペルフルオロアルキル物質およびポリフルオロアルキル物質（PFAS）含有の潤滑油が存在することが知られています。潤滑油中の微量の PFAS を正確に定量するための高感度のメソッドは、半導体業界にとって有益です。本研究では、固相抽出（SPE）と液体クロマトグラフィー/トリプル四重極質量分析（LC/TQ）をベースにしたワークフローを確立しました。Agilent 1290 Infinity II LC システムと Agilent 6475 LC/TQ を使用して、半導体潤滑油マトリックス中の従来の PFAS と新たに懸念される PFAS を定量分析しました。

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分野	環境、半導体/電子材料、材料試験・研究
キーワード	PFAS; semiconductor; 6475 LC/TQ
掲載年月	2024/09
ページ数	9ページ （PDFファイルサイズ 591kB）

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