ホットプラズマ条件での ICP-QQQ による超高純度プロセス薬品分析

Pub.No. 5994-4025JAJP

ホットプラズマ条件での ICP-QQQ による超高純度プロセス薬品分析

汚染管理は、半導体デバイス製造（FAB）施設で極めて重要です（1）。汚染物質は、ウエハ基板、または製造プロセス中に使用される化学薬品や試薬を介して混入することがあります。不純物、特に金属イオンと粒子は、デバイスの性能と製品の歩留まりに悪影響を与えるため、FAB では最高純度の試薬を使用し、厳格なプロトコルに従って製造プロセス中の汚染物質を管理します。超純水（UPW）は、ウエハ表面から化学汚染物質や粒子状不純物を除去するために、RCA 標準洗浄（SC-1/SC-2）手順をはじめとするウエハ製造プロセス全体で使用されます。製造の多くの段階で水がウエハ表面と直接接触するため、UPW は汚染管理において最も重要なプロセス薬品の 1 つです。UPW に存在する不純物は、例えば絶縁破壊電圧の低下など、最終製品の電気的特性に直接影響を与える恐れがあります。

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分野	材料試験・研究
キーワード	UPW impurities; ultra pure water metals; ASTM D5127-13; SEMI F63-0521
掲載年月	2021/09
ページ数	6ページ （PDFファイルサイズ 567kB）

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