Agilent Cary 5000 と UMA アクセサリによる屈折率と膜厚の測定

Pub.No. 5994-0558JAJP

2 層構造の光学特性と厚さの分析

多角度可変自動測定アクセサリを取り付けた Cary 5000 分光光度計を用いて、石英基板（可視光範囲で透明）上のナノコンポジットコーティング Zr-Si-B-(N) 膜で構成された試料と単結晶シリコン基板（可視光範囲で不透明）上の積層ニオブ酸リチウム LiNbO3 構造の試料を分析しました。両方の屈折率は、± 0.01 の精度で計算されました。両方のサンプルで、薄膜の厚さは測定した屈折率から計算しました。

分野 材料試験・研究
キーワード ガラス、セラミック、光学系、refractive index; film thickness; optical measurements; multilayer coatings; thin films; extinction coefficient 
掲載年月 2023/02
ページ数 4ページ （PDFファイルサイズ 557kB）

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