Agilent 7500cs ICP-MSによるフォトレジストおよびその溶媒の分析

Pub.No. 5989-0629JAJP

Agilent 7500cs ICP-MSによるフォトレジストおよびその溶媒の分析

本報では、リアクションセルを搭載したICP質量分析装置（ICP-MS）を用いてフォトレジスト（感光性樹脂）を分析 する手法を紹介します。高感度型のオクタポールリアクションシステム（ORS）を搭載したAgilent 7500cs ICP-MS を使用すると、フォトレジストの品質を維持する上で重要な元素全てを測定することができます。B, Mg, Al, K, Ca, Ti, Cr, Fe, Znなどの元素に干渉する、プラズマ起因やマトリクス起因の多原子干渉イオンを、ORSによって抑制できま す。このような干渉成分が低減されることにより、四重極マスフィルタ型のICP-MSの分析性能は、より拡大されま す。本手法では、サンプルの前処理も簡単です。フォトレジスト（樹脂濃度30%）を適当な溶媒で10倍に希釈するだ けで、7500csで直接分析することができます。

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